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真空镀膜设备如何选配真空泵部件

一、在选真空泵时，首先要注意真空泵在工作时产生的振动对工艺和环境是不是存在着影响，如果工艺过程受到影响，应该采取防振措施或者另选真空泵。在选择的时候需要了解待抽气体的成分，如果需要选择性的抽气，一种泵可能不足以满足要求，必须组合多种不同的泵互相配合工作，如果真空镀膜设备镀膜要求无油则要选用无油泵。

二、真空泵的价格和维修费用也是我们考虑的***之一。

三、真空镀膜设备对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，起码泵的极限抽真空度要高于真空设备工作真空度的半个数量级以上。每种泵都有一定的工作压强范围，譬如像扩散泵的压强为3~10-7mmHg，其稳定工作压强范围为5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用扩散泵就不能让其在未定工作压强范围之外工作。

四、当泵需要的气体压力不高或所需的真空度不高的时候，可优先在单级泵中进行选择，度过排气压力或真空度的要求比较高，单击泵往往不可以满足要求，可以选择使用两级泵或者多级泵。

现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法

涂层的镀膜机控制方法是***直接的石英晶体微天平(QCM)的方法，该仪器可以直接驱动的蒸发源，通过PID控制回路传动挡板，使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接，它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。

此外，虽然QCM在低温下非常稳定，但温度高，它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中，镀膜机很难避免传感器为敏感的区域，导致薄膜的重大错误。光学监测是一种高精度涂层优选的监控模式，镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。

精度的提高，由于许多因素，但***根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统，是间接控制，镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展，有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少***终的误差的理论方法，提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。

真空镀膜设备的环境要求

由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。

我国制定的各种真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。