镀金真空电镀机-镀膜机-至成镀膜设备

真空镀膜机原理和各部件分析

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用***广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

1、机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用***广泛，本文主要介绍)四种类型。

2、机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1、0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是弹片、定子、转子等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。

真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用

真空镀膜机的发展相当迅速，随着生产率的提高，生产费用大大降低，已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。

以卷绕式真空镀膜机为例，刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm，目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm，大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%，辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用，卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。

真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2，可以在这个范围内选择，有的还可以镀多层膜，满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室，左下室和右下室。蒸镀时，两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上，在塑料薄膜没有蒸镀的一侧，装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜，用于制磁带和薄膜太阳能电池等。

真空镀膜机冷却系统的原理及监控方法

真空镀膜设备的金属罩体通过安装孔然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上，待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道，这样确保了冷却的流通，也避免的死角现象的产生，有效的对镀膜机进行了快速的降温，降低了油泵的温度，加强了冷却的强度，结构简单，安全可靠等有点，在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形；在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道，根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_，根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的大直径为24-136mm。