真空磁控溅射镀膜机厂家询问报价

真空镀膜机是如何操作真空电阻式蒸发镀膜机的

随着真空镀膜机的工艺发展不断革新，而硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。成为现代企业优选的镀膜工艺。今天我们通过中国真空协会的***剖析后，给予详细作答。其实镀膜机的正常操作方法应该参考操作手册的指示操作。

不过大致的操作程序，我们简单的说一下吧：

1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在;关位置。

2、打开总电源开关，真空镀膜设备送电。

3、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

5、落下钟罩。

6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

7、开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

8、多弧离子镀膜机当低真空表amp;ldquo;2amp;rdquo;内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。

9、真空镀膜设备开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序：左下旋钮;转至指向2区段测量位置。低真空表;内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀。

真空镀膜机漏气检修

真空电镀设备漏气问题我们应该如何进行检修呢？真空电镀设备漏气对于设备本身是有大的影响的，因此我们要及时的进行检修维护。

1、要测试好真空室内气体密封性能的比例，确保气密性能够符合要求。

2、然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度，分析出解决方案并且可以实施。

3、要确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏，因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生一定的气体，有时候会误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，我们要排除这种情况。

4、确定检测仪器小的检漏率和捡漏灵敏性，以大范围检测出漏气的情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。

5、***后还要避免真空电镀漏孔的堵塞，有时候因为操作失误，真空电镀在捡漏中，会有一些灰尘或液体等把漏孔给堵塞了，以为在那位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了，但是漏气还是会存在的。

溅镀机设备与工艺（磁控溅镀）

溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射枪（sputtergun）磁控溅射枪分为平面型和圆柱型，其中平面型分为矩型和圆型，靶材料利用率30-40%，圆柱型靶材料利用率gt;50%溅射电源分为：直流（DC）、射频（RF）、脉冲（pulse），直流：800-1000V（Max）导体用，须可灾弧。

射频：13.56MHZ，非导体用。脉冲：泛用，新发展出溅镀时须控制参数有溅射电流，电压或功率，以及溅镀压力（5×10-1—1.0Pa），若各参数皆稳定，膜厚可以镀膜时间估计出来。

靶材的选择与处理十分重要，纯度要佳，质地均匀，没有气泡、缺陷，表面应平整光洁。对于直接冷却靶，须注意其在溅射后靶材变薄，有可能破损特别是非金属靶。一般靶材***薄处不可小于原靶厚之一半或5mm。

磁控溅镀操作方式和一般蒸镀相似，先将真空抽至1×10-2Pa，再通入Ar气（Ar）离子轰击靶材，在5×10-1—1.0Pa的压力下进行溅镀其间须注意电流、电压及压力。开始时溅镀若有打火，可缓慢调升电压，待稳定放电后再关shutter.在这个过程中，离子化的惰性气体（Ar）清洗和暴露该塑胶基材表面上数个毛细微空，并通过该电子与自塑胶基材表面被清洁而产生一自由基，并维持真空状态下施以溅镀形成表面缔结构，使表面缔结构与自由基产生填补和高附着性的化学性和物理性的结合状态，以在表面外稳固地形成薄膜.其中，薄膜是先通过把表面造物大致地填满该塑胶毛细微孔后并作链接而形成．