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真空镀膜设备真空泵的选择

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

真空镀膜机薄膜均匀性概念

1.厚度上的均匀性：也能够理解为粗糙度，在光学薄膜的标准上看（也即是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜机的均匀性现已相当好，能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内，也即是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何妨碍。

2.化学组分上的均匀性：即是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于标准过小而很简单的发生不均匀特性，SiTiO3薄膜，假如镀膜进程不科学，那么实践外表的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的份额，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技能含量地点。

3.晶格有序度的均匀性：这决议了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技能中的热点问题。

真空镀膜机***的重要性

大家都知道，真空镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量，为了更好的运行，要对真空镀膜机进行维护和***，那么，那么知道真空镀膜机维护和***的意义吗？下面，小编给大家讲解一下它们的意义。

设备的日常维护***是在生产中发现不正常现象，尽快解决。发现机械泵油减少要添加，不要认为油要定期才更换，否者到了维护时，泵的转子可能会磨损严重。例如，一些轴承工件转架卡，要更换轴承，否者等到它完全破碎，问题可就大了，可能会出现电机烧毁等问题。

定期维护***，有些人会问一个日常维护和定期维护的区别？实际上，每个设备都有使用寿命，例如，扩散泵用的硅油，使用寿命为两年左右，我们提早更换，这是浪费吗？不是，在生产中***不希望出现设备故障，把日常维护***和定期维护***都做好了，不仅延长了设备的使用寿命，还减少了运行故障，提高生产效率。