至成镀膜设备-磁控溅射镀膜设备-云浮镀膜设备

真空镀膜设备冷水机有什么作用？

真空冷水机广泛应用于工业制冷，它能提供恒流、恒温、恒压，控制真空电镀设备的温度，不同工艺流程需要控制不同的温度，真空电镀设备中冷水机可以分为风冷式的冷水机和水冷式的冷水机，水冷式冷水机达到好的冷却效果加冷却水塔，风冷式冷水机对工作环境有要求，它通过热风循环制冷，通风效果的好坏直接影响到冷水机的制冷效果。

冷水机应当具备水温调节控制能力，不受气温及环境影响；性能要稳定，保证长年连续运转情况下不出现故障；节能省电，有自我调节功能，有效节约电；噪音要低，应当有缺相、错相、电流过载、高低压保护系统。真空电镀设备配备冷水机是为了达到***率、高精度控制温度的目的以保证镀件的高质量，增加镀件的密度和平滑，缩短电镀周期，提高生产效率和改善产品的质量。

真空电镀设备专用的冷水机主要组成有：压缩机，贮液器，干燥过滤器，热力膨胀阀，蒸发器，制冷剂，冷凝器。压缩机是心脏，冷水机制冷系统通过压缩机输入电能，将热量冲低温环境排放到高温环境，制冷压缩机决定整个系统的效率。贮液器安装在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接连通，贮液器起到调剂和贮存制冷剂的作用。

真空镀膜过程的对于溅射类镀膜到底多重要？

可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且***终沉积在基片表面，经历成膜过程，***终形成薄膜。

溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射)，晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例，因素主要有：靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。

对于不同的溅射材料和基片，参数需要实验确定，是各不相同的，镀膜设备的好坏主要在于能否精准控温，能否保证好的真空度，能否保证好的真空腔清洁度。MBE分子束外沿镀膜技术，已经比较好的解决了如上所属的问题，但是基本用于实验研究，工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。

真空镀膜机的检漏方法

真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中，需求注意一些问题，才能把检漏作业做好。