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真空镀膜技术在光学仪器中的应用

人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成，光线要经玻璃界面，会有相当多的光线被反射掉，透过的光线很少，影响光学仪器的光学效果。为了减少反射损耗，增大光线的透过率，往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反，反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如：光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。镀制金属高反射膜常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力，往往在表面镀一层保护膜，如SiO/SiO2/Al2O3。

在激光器和多光束干涉仪反射镜上，一般沉积低吸收、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。

真空镀膜机光学厚度的监测精度的提高，由于许多因素，但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统，是间接控制，镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展，有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少的误差的理论方法，提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。

真空镀膜机镀膜原理：

高电压电子枪将以上几种***汽化，均匀分布在镜片表面。

1.全表面单层镀膜（FC）:所有接触空气的玻璃表面都镀了单层减反增透膜。如果在所有的空气介面上都镀上单层减反增透膜，会在一个波段上取得更高的透光率。为方便工艺，在全表面单层减反膜的设计中，某一片的二个面中心波长通常一致。

2.多层减反增透膜和宽带膜（MC）:单层膜的剩余反射率仍显高，偏色现象比较严重。要进一步提高透光率，可用双层Ｖ形增透膜，用层镀膜控制镜片的反射率，第二层镀膜改善光透射率。对于单层氟化镁膜，光学玻璃的折射率ng是太低，可先镀一层厚度为λc2/4（λc2为光在镀膜中的波长）的折射率大于镜片折射率的一氧化硅膜（折射率为nc2），这时薄膜和基片的组合系统可以用一折射率为v=nc2^2/ng的假想基片来提高镜片的折射率，然后镀上一层λc1/4氟化镁膜层来减少反射率。但对于偏离λ的波长，不能等价也不能满足干涉相消的条件，故分光曲线呈Ｖ形，色彩仍不平衡。

要进一步消除彩斑幻象，平衡色彩可用双层或多层Ｗ形宽带减反增透膜，多层减反增透膜系还原真实色彩，并不是要求镜片在可见光(370nm―680nm)光谱范围内透过率一致。而是要求在蓝、绿、红光（370nm―480nm、500-550nm、580nm―680nm）三个通道通过的光线恰好可以合成标准的白光。这种膜系的反射率曲线在520nm-540nm区间形成一个0.8%左右的反射峰，在440nm和640nm处有二个反射谷，形状像W曲线，所以叫W形减反增透膜。这种膜系的反光为翠绿色所以也称减反绿膜。