镀膜设备-至成镀膜设备-磁控多弧复合镀膜设备

维修真空镀膜机一定要按照步骤操作首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗，必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入，决不能用其他油品代替。

真空PVD镀膜机涂层在中有哪些应用?

PVD涂层可提供更好的边缘保持力，因此涂层***器械仍保持清晰。对于其他设备，它们可以减少配套不锈钢部件之间的磨损，并有助于防止氧化和腐蚀。通常是四种PVD涂层。的是氮化钛（TiN），其厚度范围为0.0001至0.0002英寸，维氏硬度范围为2,400至2,600Hv，以及金色。第二种常见的涂层是铝钛氮化物（AlTiN），通常称为黑色氮化物或黑色钛涂层。它的厚度范围为0.0001至0.0002英寸，硬度范围为4,000至4,200Hv，炭黑色表面。另外两种涂料是氮化铬（CrN）和Alpha。CrN的厚度范围为0.0001至0.0005英寸，硬度范围为2,200至2,400Hv，银色表面处理。Alpha是一种多层涂层，其顶层具有氮化锆（ZrN）并产生银-金色。它的厚度范围为0.0001至0.0002英寸，硬度，范围为4,400至4,600Hv。由于其更高的硬度，润滑性和耐磨性，这种涂层可以比TiN长两到四倍。

怎么给真空镀膜设备的真空泵换油在使用真空镀膜设备时，对机器的***工作是十分重要的。他能有效提高机器的寿命，那么对于其中的真空泵的换油工作，究竟该如何呢？我们通常在机器工作3个月时间左右，就要对机器的油进行更换，在比较湿润的地方或者湿润的气候，这种地方的空气对于真空泵中的润滑油的污染是非常严重的，所以我们要根据情况缩短更换润滑油的时间。我们要做的就是把真空泵从真空电镀系统中拆出来。将底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出。再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上，对内部进行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再装上放油塞，将真空泵放平从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。真空泵换油的是不适宜长久的开动电机，以避免使排气阀片跳动太过于剧烈和疲劳。严禁使用煤油、酒精和等对泵作非拆卸的清洗。