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影响蒸镀氧化硅类蒸镀薄膜性能的因素

响蒸镀氧化硅类蒸镀薄膜性能的因素有：被蒸镀的基膜、蒸镀方法、蒸镀工艺条件对蒸镀氧化硅薄膜性能的影响等。

①塑料薄膜的类型：蒸镀的氧化硅膜与塑料薄膜之间的黏合牢度，与塑料基膜种类之间有较大的关系，PET、PVC等极性较大的薄膜与氧化硅之间的黏合性较佳，而非极性的薄膜与氧化硅之间的黏合力则比较差。

②塑料薄膜表面状态：蒸镀氧化硅类蒸镀薄膜的阻隔性，除了受蒸镀层的厚度影响之外，更大程度上取决于氧化硅镀层的均匀性。裂缝、等缺欠，会导致蒸镀氧化硅类蒸镀薄膜的阻隔性明显下降，缺陷的形成除了蒸镀层本身的化学成分与结构之外，所用基膜的表面平滑性也是一个重要因素，粗糙度越大，越容易造成蒸镀缺陷，但适量的粗糙度，会使蒸镀层和基膜的表面之间形成物理锚接，改善层间黏合力。

③塑料薄膜的表面预处理状况：为了得到的蒸镀薄膜，对基膜进行适度的表面电晕处理是十分必要的。塑料薄膜经过表面电晕处理，可在其表面形成氧化层，增大基膜与蒸镀涂层之间的结合力。在预处理设备一定的情况下，如果预处理时间不足，表面改性不充分，基膜与涂层之间的结合牢度不理想；预处理时间过长，则可能引起基膜较深层次的界面弱化，产生基膜自身的弱界面层，引起整个材料的结合力下降。

真空镀膜机夏季使用及***事项

真空镀膜机夏季使用及***事项 1、经常检查油质情况，发现真空泵油乳化及变质应及时更换真空油，确保真空泵工作正常。 2、真空泵换真空油的期限，按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长更换真空油期限。 3、严禁换用其他种类的油。一定要用***的真空油。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以旋片真空泵运转时，油位到油标中心为准。 4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类配件清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放，小心碰伤。

真空镀膜机附着力说明了什么

附着力反映了Al膜与基片之间的相互作用力，也是保证器件经久耐用的重要因素。真空镀膜设备溅射原子能量比蒸发原子能量高1-2个数量级。真空镀膜机高能量的溅射原子沉积在基片上进行的能量转换比蒸发原子高得多，产生较高的热能，部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象，在基片上形成一层溅射原子与基片原了相互溶合的伪扩散层，而且，在真空镀膜设备成膜过程中基片始终在等离子区中被清洗，清除了附着力不强的溅射原子，净化且基片表面，增强了溅射原子与基片的附着力，因而溅射Al膜与基片的附着力较高。