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发布时间:2020-09-01 08:45:11
镀膜行业发展的趋势
当今镀膜行业制作方式主要有两种,一种是化学气象沉积,一种是化学镀膜(CVD),一种是物***象沉积,也就是真空镀膜(PVD)。
化学镀膜是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应所需其他气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在化学薄膜的过程中,容易产生溶液污染,如果镀层表面杂质多,镀出来的效果不好。
化学镀膜需要的反应温度很高,一般要控制在1000℃左右,但很多基体材料是无法受此高温,及时硬质合金,虽然能经受高温,但在化学镀膜制作的环境下由于高温也会造成晶粒粗大,引起脆性相,性能变坏。如果在硬质合金上镀TiN,晶体扩散出来的碳会与溶液发生反应形成脱碳层,该层韧性差,抗弯强度低,造成刀具使用寿命缩短。
真空镀膜机很好的解决了化学镀膜产生的一系列问题。真空镀膜是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电技术,利用其他放电是靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及反应产物沉积在工件上。
所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面,解决了化学镀膜中的溶液污染问题,不会产生***或污染物质,镀出来的膜层硬度更高,耐磨性和腐蚀性好,性能更稳定。真空镀膜工艺处理的温度可以控制在150℃~500℃以下,适用于多种基体材料,可制备多姿多彩的膜层,镀制硬质合金刀具可使其寿命提高2~10倍。
真空镀膜设备需要的环境要求真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,***了泵的抽气性能。
真空电镀设备的监控方法1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。
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