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发布时间:2019-11-24 20:13:52
真空镀膜机设备真空镀膜机系统组成
真空镀膜机等离子体束溅射镀膜机主要由射频等离子体源、真空获得系统、电磁线圈(发射线圈及汇聚线圈)、偏压电源、真空室(包括靶材及基片等)、真空控制系统等部分构成。其显著特点是它的等离子体发生控制系统,其示意图如图1所示。等离子体发生控制系统是镀膜机中的关键部分,其中射频等离子体源位于真空室的侧面,并在等离子体源的出口处及溅射靶材的下方分别配置有一个电磁线圈。当两个线圈同向通过电流时,线圈合成的磁场将引导等离子体源中产生的电子沿磁场方向运动,从而使等离子体束被约束在磁场方向上。同时靶材加有负偏压,使溅射离子在电场的作用下加速撞击靶表面,产生溅射作用。
真空镀膜机等离子体发生控制系统
真空镀膜机这种镀膜机具有非常灵活的控制方式,例如溅射速率可以通过调节靶材偏压和改变等离子体源的射频功率这两种途径进行调节。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键,而这种参数阔范围的可控性使得特定的应用能够获得优化的工艺参数。此外,还可以通过控制系统的真空度来进行溅射速率的调节。
真空镀膜机中所示曲线为靶电流与偏压曲线、恒定电流密度时溅射速率与靶偏压的关系,其中恒定电流时射频功率为500W。
真空镀膜机工艺如何清洗
真空镀膜机清洗一般在运用真空工艺前进行,先从工件或系统材料表面清除污渍。真空零部件的表面清洗理是非常有必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外,由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。所以真空镀膜机启用前,清洗环节必不可少。
汽车镀膜的镀膜特点
车镀膜-镀膜特点优点
汽车镀膜好处一:防水强;汽车镀膜的表面是经过氟素处理之后,具有强的防水性。在水落入汽车表面的时候,这些水会像荷叶般,把水缩成粒粒的水珠,防止形成水垢,对车漆造成污染。
汽车镀膜好处二:耐高温;汽车镀膜是由玻璃晶体制作而成,可以在炎炎夏日,起到很好的将阳光以及辐射反射出去的作用,从而做到了耐高温,防止高温对车漆的损害。
汽车镀膜好处三:防刮痕;在前面讲汽车镀膜是什么的时候,提到过它是由非有机镀膜组成的,无机镀膜可以大程度的提高车身的强度,进而可以大程度的减少人为或者沙粒对车身造成的刮痕。
汽车镀膜好处四:耐腐蚀;汽车镀膜不仅不会被氧化,还能抵抗酸雨、飞虫对车漆的腐蚀,从而防止褪色和损伤。可见其防腐性能极高。
汽车镀膜好处五:防氧化;汽车镀膜可以防止漆面老化和氧化。它可以将车漆和空气完全隔绝起来,从而起到防氧化、防掉色、防脱漆的作用。
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